固晶机上总共采用4套200W伺服(TSTA-15A搭配JS MA-SC02ABK)和2套100W伺服(JS MA-15A搭配JS MA-SC01ABK),分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求最高的为控制键合臂的100W伺服。
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伺服动作要求:
100W伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀的键合臂做逆时针和顺时针方向位移,逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。此动作要求:1.快速定位时,马达要平稳,不能抖动,否则吸晶和固晶的位置会不准确;2.客户要求每个动作周期尽量的快,由此对伺服的响应有较高要求。东元伺服维修 东元伺服价格 东元伺服电机价
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1.性能:通过组合中惯量电机来提高机械性能、增强了振动抑制功能、拥有同行业最高的放大器响应性,大大缩短了整定时间;
2.优点:良好的系统适应性、维护简便、高精度、高效率伺服单元、简单安装设定;
3.产品用途:工业、石油、化工、固晶机、焊线机、喷胶机、多轴机器人、取出臂机械手、PCB成型钻孔机、包装机、半导体设备等、数控电机,保护器,变频器,PLC,触摸屏自动化电气设备一起使用,,,,数控机床等各个领域;
4.包装说明;黄皮硬纸箱,內有说明书,中文,英文,日文,配件有;伺服通信插头,伺服编码器线,动力线,电缆,,弯插头
TSTA标准型
1) 不带刹车
规格 型号
200W/多摩川电机 DTST06201C3NT3A01/TSTA15C
400W/多摩川电机 DTST06401C3NT3A01/TSTA20C
750W/多摩川电机 DTST08751C3NT3A01/TSTA20C
300W,3000RPM TSB07301C2NL3001/TSTA15C
400W,3000RPM TSC06401C3NT3001/TSTA20C
TSB750W,3000RPM TSB08751C2NT3001/TSTA20C
TSC750W,3000RPM TSC08751C2NT3001/TSTA20C
550W,1500RPM TSB13551H3NTA001/TSTA20C
550W,1000RPM TSB13551A3NTA001/TSTA20C
1KW,2000RPM TSB13102B3NTA001/TSTA30C
1KW,1500RPM TSB13102H3NTA001/TSTA30C
1KW,1000RPM TSB13102A3NTA001/TSTA30C
1.5KW,2000RPM TSB13152B3NTA001/TSTA50D
1.5KW,1000RPM TSB13152A3NTA001/TSTA50D
2KW,2000RPM TSB13202B3NTA001/TSTA50D
3KW,2000RPM TSB13302B3NTA001/TSTA75D
4.5KW/1500RPM TSC18452H3NCA001/TSTA100D
5.6KW/1500RPM TSC18562H3NCA001/TSTA150D
4.4KW/1500RPM DSYSA18442H3NTA001/TSTA100D
5.5KW/1500RPM DSYSA18552H3NTA001/TSTA150D
7.5KW/1500RPM DSYSA18752H3NTA001/TSTA200D
2)带刹车
规格 型号
200W/多摩川电机 DTST06201C3BT3A01/TSTA20C
400W/多摩川电机 DTST06401C3BT3A01/TSTA20C
750W/多摩川电机 DTST08751C3BT3A01/TSTA20C
300W,3000RPM TSB07301C2BT3001/TSTA15C
750W,3000RPM TSB08751C2BT3001/TSTA20C
1KW,2000RPM TSB13102B3BTA001/TSTA30C
1KW,1500RPM TSB13102H3BTA001/TSTA30C
1KW,1000RPM TSB13102A3BTA001/TSTA30C
2KW,2000RPM TSB13202B3BTA001/TSTA50D
3KW,2000RPM TSB13302B3BTA001/TSTA75D
TSTE经济型系列价格表
1) 不带刹车
规格 型号
50W,3000RPM TSC04051C1NT3001/TSTE10C
100W,3000RPM TSC04101C1NT3001/TSTE10C
300W,3000RPM TSB07301C2NT3001/TSTE15C
400W,3000RPM TSC06401C3NT3001/TSTE20C
TSB750W,3000RPM TSB08751C2NT3001/TSTE20C
TSC750W,3000RPM TSC08751C2NT3001/TSTE20C
550W,1500RPM TSB13551H3NTA001/TSTE20C
550W,1000RPM TSB13551A3NTA001/TSTE20C
1KW,2000RPM TSB13102B3NTA001/TSTE30C
1KW,1500RPM TSB13102H3NTA001/TSTE30C
1KW,1000RPM TSB13102A3NTA001/TSTE30C
1.5kw,2000rpm TSB13152B3NTA001/TSTE50C
2kw,2000rpm TSB13202B3NTA001/TSTE50C
2)带刹车
规格 型号
300W,3000RPM TSB07301C2BT3001/TSTE15C
750W,3000RPM TSB08751C2BT3001/TSTE20C
1KW,2000RPM TSB13102B3BTA001/TSTE30C
1KW,1500RPM TSB13102H3BTA001/TSTE30C
1KW,1000RPM TSB13102A3BTA001/TSTE30C
通过伺服增益参数的调整,最终可以实现键合臂伺服在3msec内完成整定,整个固晶周期为245msec/颗,获得客户的认可。